Tesla 與 xAI 的舵手伊隆馬斯克(Elon Musk)近期在接受 Moonshots with Peter Diamandis 採訪 時再度拋出驚人言論。他公開批評現今半導體產業的無塵室設計方向錯誤,並豪賭特斯拉未來將建立一座不需要傳統無塵室的 2 奈米晶圓廠。
他甚至聲稱,在這座半導體廠內,將可以一邊吃漢堡、一邊抽雪茄,完全顛覆了一般人對晶圓製造環境的認知。這項言論隨即在科技圈引發熱議,究竟是馬斯克再次展現第一性原理的創新思維,還是對半導體製程極度複雜性的誤解?
從醫院手術室到奈米製程的無塵室演進史
要理解馬斯克的豪語為何驚世駭俗,必須先回顧無塵室技術的發展歷程。早期的無塵室概念源自於醫院手術室,手術室目的是降低細菌感染風險。第二次世界大戰期間,為了生產高精度的軍用陀螺儀與瞄準器,工業界開始重視微塵對精密機械的影響。當時的防塵措施相當簡陋,良率往往難以提升。
現代無塵室的真正轉捩點發生在 1960 年代。美國桑迪亞國家實驗室(Sandia National Labs)的物理學家威利斯惠特菲爾德(Willis Whitfield)發明了層流(Laminar Flow)技術。他利用風扇將空氣透過高效濾網(HEPA)吹入室內,並讓氣流以單一方向均勻流動,讓過濾後的氣流以單一方向、較低湍流地流經工作區,把微粒帶離關鍵作業面,並由回風/排風與過濾系統移除,讓微粒不會在空氣中亂竄。
這項設計使空氣潔淨度從難以穩定控制走向可量測與標準化,並成為後續精密製造採用無塵室的重要基礎。隨著摩爾定律推進,半導體製程從微米進入奈米等級,潔淨度要求也日趨嚴格,對微粒的容忍度愈來愈低。我們可以看到,無塵室標準也從 ISO 5 演進到有 ISO 1 等級 (數字越小潔淨度越高,其中 ISO 1 代表最高潔淨等級),並在關鍵機台周邊以局部微環境方式,再進一步強化污染控制。
身著兔寶寶裝的無塵室工作不容易
對於在晶圓廠前線工作的工程師與作業員來說,無塵室環境是工作中最艱鉅的挑戰之一。為了維持 ISO 等級的潔淨度,工作人員進入無塵室前必須經過繁瑣的更衣程序,穿上連身防護衣(也有人稱之為兔寶寶裝)、戴上口罩、手套與防護鏡,全身包得密不透風,它的任務是微污染控管,畢竟人體有很多的落塵、 毛屑,穿著無塵衣能保持無塵室的潔淨度,以及抗靜電。
但這套服裝不僅穿脫耗時,更讓上廁所成為一件極度麻煩的事,許多人會因此刻意減少飲水,長期下來容易導致脫水或泌尿系統等健康問題。相對來說,女性員工就會比較少,這在全球半導體工作環境中是很常見的情形。
此外,無塵室通常需嚴格控制溫濕度,以確保製程一致性並管理靜電、結露與腐蝕等風險。長期處於這種乾燥環境下,皮膚乾癢、眼睛乾澀也是常見的職業傷害。而封閉、無窗且單調的白色環境,加上全天候運轉的風扇噪音,也容易對員工造成心理壓力與孤立感。
嚴格禁止飲食、化妝甚至噴香水的規定,更讓工作環境和一般環境不同,我們很多輪班星人都是得習慣這樣的環境在工作的。因此,當馬斯克提出「吃漢堡、抽雪茄」的願景,某種程度上引起許多無塵室工作者的討論。
馬斯克的非無塵晶圓廠構想與現實挑戰
馬斯克的核心論點在於我們應該將晶圓本身徹底隔離,而非將整個人員活動的空間都變成無塵室。他認為只要能夠確保晶圓在生產過程中始終處於封閉容器內,工廠其他區域的潔淨度就不需要那麼高。
事實上,我們在半導體產業早已採用類似的概念。現代晶圓廠廣泛的使用前開式晶圓傳送盒(FOUP),這就是一種能將晶圓密封並在機台間傳送的微型環境。然而,馬斯克的構想仍受限於幾個技術限制。首先是極紫外光(EUV)微影技術,EUV 極易被任何物質吸收,因此曝光過程必須在真空中進行,晶圓勢必得離開傳送盒進入機台內的真空環境。若環境中存在油煙(例如漢堡的油脂或雪茄的煙霧),這些有機物質會迅速汙染昂貴的光學鏡頭與光罩,導致機台停擺。
其次是設備的維護問題,半導體設備需要頻繁的保養與零件更換,這才是目前半導體廠為何得整個廠區都維持無塵環境的主要原因,負責維護的工程師必須打開機台外殼進行維修。一旦機台內部暴露在髒空氣中,要重新清潔並回到符合製程要求的潔淨度,將耗費驚人的時間與成本。
實現髒工廠所需的關鍵技術條件
若要實現馬斯克所說的「髒工廠」,晶圓生產流程必須達成一些強化過的條件。比方說全流程的絕對真空或惰性氣體封裝,意即晶圓從頭到尾都不會有機會讓外界空氣接觸到,所有傳輸與加工都在密閉管道中完成。
其次是設備維護的全面自動化或遠端化,需要開發出能自我修復或由機器人在內部進行維修的機台,大幅度減少人類工程師打開機台的需求,甚至是未來都不用人類進去關鍵環境來處理機台維修,遙控和程式輔助即可。有關遙控使用維修工具和機器人來進行設備保養處理的開發都有在進行和實作,可以關注之後的發展。
CyberQ 認為,換句話說,馬斯克他若要達成人可以在晶圓廠內抽雪茄吃漢堡的願景,最可能的方式是打造一座無人化、全封閉且造價遠高於目前水準的超級工廠。雖然在理論上並非不可能,但在經濟效益與實務上,目前仍是個巨大的問號。往好處想,他在美國進行電動車的自動化生產、X太空公司發展時,當初也是有產業人士看衰,但他能夠用工程實績來證明有些部分是有機會做到的,連火箭歷經多次努力後也終於發射成功,不如就拭目以待吧。
馬斯克的這番言論,或許更多是為了替特斯拉未來的 AI 晶片製造佈局創造話題,但也不可否認,他確實點出了半導體製造依賴龐大無塵設施的現況,以及無塵室工作者的無奈,產業界正在觀察馬斯克的未來新工廠規劃與實作其部分理念的可能性,也更多人在思考是否有更具效率的替代方案,同時又還能兼顧現有的成本環境和市場需求。
首圖由 Nano Banana AI 生成







